Низкотемпературная плазма и синтез наноплёнок

Преподаватель 

Чепкасов Сергей Юрьевич
+7(383) 363–41–82

Цели и задачи спецкурса:

  • дать знания об основах физики плазмы и газового разряда (низкотемпературной плазмы);
  • дать знания о физических процессах, происходящих в газоразрядной среде;
  • рассказать об основных типах газового разряда;
  • на примере тлеющего разряда показать, что собой представляет газовый разряд;
  • научить исследовать характеристики газового разряда и понимать, какими процессами обусловлена та или иная характеристика;
  • научить применять знания о газовом разряде для осаждения тонких пленок;
  • научить работать с измерительными приборами.

Программа факультативного спецкурса